天线效应
🔴 错误
ANT.1 — Gate Antenna
栅极天线效应
MOS管栅极连接的金属面积过大,在制造过程中刻蚀时会积累过多电荷,可能击穿栅氧化层。
💡 解决方案
1.
在靠近MOS管栅极处插入反向二极管(Antenna Diode)
2.
将长金属线分段,通过Via换层降低天线比
3.
使用Metal jumper断开长线,在后续层连接
4.
天线比 = 金属面积 / 栅极面积,需低于工艺限制
🔧 修复示例
在栅极附近添加一个 P+/NW 反向二极管(antenna diode),将多余电荷泄放到电源。
这个解决方案对你有帮助吗?