天线效应 🔴 错误

ANT.1 — Gate Antenna

栅极天线效应

MOS管栅极连接的金属面积过大,在制造过程中刻蚀时会积累过多电荷,可能击穿栅氧化层。

💡 解决方案

1.

在靠近MOS管栅极处插入反向二极管(Antenna Diode)

2.

将长金属线分段,通过Via换层降低天线比

3.

使用Metal jumper断开长线,在后续层连接

4.

天线比 = 金属面积 / 栅极面积,需低于工艺限制

🔧 修复示例

在栅极附近添加一个 P+/NW 反向二极管(antenna diode),将多余电荷泄放到电源。

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ANT.1
Gate Antenna
栅极天线效应

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