设计规则检查
密度
警告
D.1 - 金属密度不足
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🔬 适用工艺: TSMC 180nm, SMIC 180nm
📅 更新于 2026-06-17
📝 错误描述
某区域金属密度低于工艺要求的最小值，可能导致CMP抛光不均匀。
⚠️ 常见原因
1. 大面积空白区域
2. 走线过于稀疏
3. 未添加Dummy Fill
2. 走线过于稀疏
3. 未添加Dummy Fill
✅ 修复方案
1. 使用Calibre或其他工具自动添加Dummy Metal
2. 手动添加金属填充
3. 调整布局，增加金属密度
2. 手动添加金属填充
3. 调整布局，增加金属密度