设计规则检查
密度
警告
D.2 - 金属密度超标
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🔬 适用工艺: TSMC 180nm, SMIC 180nm
📅 更新于 2026-06-17
📝 错误描述
某区域金属密度高于工艺允许的最大值，可能导致CMP抛光问题。
⚠️ 常见原因
1. 走线过于密集
2. 大面积实心金属
3. 未进行密度检查
2. 大面积实心金属
3. 未进行密度检查
✅ 修复方案
1. 减少金属填充
2. 将大面积金属改为网格状
3. 调整走线间距
2. 将大面积金属改为网格状
3. 调整走线间距