密度
🟡 警告
DUM.1 — Dummy Fill Coverage
Dummy Fill覆盖率
Dummy Fill的覆盖率不足，无法满足CMP工艺要求。
💡 解决方案
1.
使用EDA工具自动生成Dummy Fill
2.
调整Fill的尺寸和间距
3.
重新运行密度检查
🔧 修复示例
使用 Calibre Fill Utility 生成全芯片 dummy fill，目标密度设为工艺要求值。
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错误代码
DUM.1
Dummy Fill Coverage
Dummy Fill覆盖率
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