密度
🔴 错误
MET1.3 — Metal1 Minimum Density
金属1最小密度
Metal1层的填充密度低于工艺要求的最小值。CMP工艺需要各金属层达到一定密度以保证平坦化。
💡 解决方案
1.
添加Metal1 Dummy Fill（虚拟填充）
2.
使用Calibre的DFM工具自动添加fill
3.
优先在空白区域添加无电气连接的Metal1图形
4.
确保fill不引入新的DRC违规
🔧 修复示例
使用 Calibre SmartFill 或 Virtuoso 的 Dummy Fill 功能，在Metal1密度低于30%的区域自动添加填充图形。
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错误代码
MET1.3
Metal1 Minimum Density
金属1最小密度
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