密度
🟡 警告
MET2.4 — Metal2 Maximum Density
金属2最大密度
Metal2层的填充密度超过工艺要求的最大值。过高的密度可能导致CMP过度研磨。
💡 解决方案
1.
移除部分Dummy Fill
2.
在密集区域减少走线或增大走线间距
3.
重新运行密度检查直到满足要求
🔧 修复示例
将部分区域的Metal2 dummy fill移除，或将走线间距增大以降低局部密度。
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错误代码
MET2.4
Metal2 Maximum Density
金属2最大密度
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