天线效应规则

Antenna Rule

防止金属连线在制造过程中积累电荷损伤栅氧化层的设计规则。

详细解释

天线效应（Antenna Effect）发生在等离子刻蚀工艺中：长金属线像天线一样收集电荷，如果只连接到MOS栅极（没有到衬底的放电通路），电荷积累产生的电压可能击穿薄栅氧化层。天线规则限制金属线面积与栅面积的比值。

等离子刻蚀时，金属线通过离子轰击积累电荷。如果金属线面积/栅面积 > 阈值（通常200-1000），电荷积累的电压超过栅氧击穿电压。解决方法：1）跳线到更高层金属（面积比重新计算）；2）加保护二极管提供放电通路。

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长走线分段用不同金属层；2. 连接到栅极的金属面积不能太大；3. 加反偏二极管（P+/Nwell或N+/Psub）在栅极附近；4. Calibre PERC可检查天线效应；5. 工艺层的天线规则不同，要查PDK。

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等离子刻蚀工艺中的栅氧保护

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长金属线连接MOS栅极时的防护

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I/O端口ESD防护

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先进工艺可靠性保证

中英对照

天线效应规则

Antenna Rule