DRC/LVS/ERC
设计规则检查
DRC
检查版图是否满足工艺制造的几何规则约束。
详细解释
DRC(Design Rule Check)是版图验证的第一步。检查内容包括:最小宽度(Min Width)、最小间距(Min Spacing)、金属密度(Metal Density)、天线效应(Antenna Rule)、Enclosure/Extension规则等。违反DRC的版图无法流片。
工作原理
DRC规则基于光刻和刻蚀的物理限制。例如最小间距由光刻分辨率决定,金属密度规则确保CMP平坦化均匀。EDA工具(如Calibre/PVS)通过几何运算检查每条规则。
版图设计要点
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设计初期就跑DRC,不要最后才检查;2. 善用In-Design DRC实时检查;3. 某些Warning可以waive但要记录原因;4. Density不够时加Dummy Fill;5. 天线规则用跳线或加保护二极管解决。
典型用途
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流片前必须通过的几何规则检查
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最小线宽/间距验证
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金属密度检查(CMP平坦化)
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天线效应检查
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ESD规则检查
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可靠性规则(EM电迁移)
中英对照
设计规则检查
DRC